Improvement of low-frequency noise behavior with chloridic precursor materials at ALD process uri icon Wissenschaftlicher Artikel

Open Access Peer Reviewed Im Bibliotheksbestand

Überblick

Freigegeben

  • Ja

AutorInnen

  • Hessler, Daniel
  • Olivo, Ricardo
  • Baldauf, Tim
  • Seidel, Konrad
  • Hoffmann, Raik
  • Woo, Chaiwon
  • Lederer, Maximilian
  • Raffel, Yannick

Veröffentlichungszeitpunkt

  • 2024

Open-Access-Kennzeichnung

  • Open Access

Peer Reviewed

  • Ja

Sprachen

  • englisch

Im Bibliotheksbestand

  • Ja Im Bibliotheksbestand

Identität

International Standard Serial Number (ISSN )

  • 27730646

Anderes

Kuratierungs-Zielkategorie (intern)

  • Ja