Improvement of low-frequency noise behavior with chloridic precursor materials at ALD process Wissenschaftlicher Artikel uri icon

Überblick

Veröffentlichungszeitpunkt

  • 2024

Autor/in (verknüpft)

  • Baldauf, Tim  Professor für Theoretische Elektrotechnik / Optoelektronik

Open-Access-Kennzeichnung

  • Open Access

Sprachen

  • englisch

Beteiligte Organisationen

  • Fakultät Elektrotechnik

Identität

International Standard Serial Number (ISSN )

  • 27730646