Analyse und Optimierung von verspannten Schichten auf CMOS–Transistoren Konferenz-Paper uri icon

Überblick

Autor/in (verknüpft)

  • Baldauf, Tim  Professor für Theoretische Elektrotechnik / Optoelektronik
  • Stenzel, Roland  Professor für Grundlagen der Theoretischen Elektrotechnik

Open-Access-Kennzeichnung

  • Closed Access

Sprachen

  • deutsch

Beteiligte Organisationen

  • Fakultät Elektrotechnik